旋片式真空泵是將泵腔分為幾個可變容積的一種旋轉變容積的真空泵。如此精密的儀器在被拆卸的時候，有一些點是要注意到位的。 比如：在拆卸時，我們應該注意它每個零件的部位，方向還有組合的松緊。拆下的零件應該分開放好，不要混在一起，避免互相磨擦損傷。然后將旋片式真空泵拆離真空系統，放油前先拆下真空端，接著取下后端板后，再取低真空轉子及 鍵，緊接著將前端板拆下，依次取出真空轉子及轉片等部件，在取下視鏡、排氣閥門、排氣蓋這些零部件時要用汽油或者酒精清洗干凈。