一般來說，旋片式真空泵所使用的油，通常化學性質更趨于穩定，水分、水溶酸、不溶堿和其它雜質的含量要小的多，使用這樣的油，往往能夠避免多次更換真空泵油和保障泵內清潔度。而如果是普通的真空泵油或機油則很容易揮發，使用非真空泵油則面臨經常加油的局面。 而且，旋片式真空泵的油具有粘度，粘度的高低決定了真空泵的密封性，粘度過小，密封性則不好；粘度過高，會加大泵內葉片與缸體的摩擦力度，潤滑作用就會變差。