無油真空泵主要用于獲得低、中真空度，它可分為油封泵和干式泵，根據所要求的真空度，還可以分為單級泵和雙級泵。無油真空泵主要是由泵體、轉子、旋片、端蓋和彈簧等部件構成。在無油真空泵的腔內，有偏心地安裝了一個轉子，轉子外邊與腔內表面相切，轉子槽內裝有帶彈簧的兩個旋片。當轉子在運轉的過程中，旋片能沿其徑向槽成往復式地滑動，并且與泵殼內表面始終相接觸，此旋片隨轉子一起旋轉，進而把真空泵腔體分為多個可變容積空間。