清潔的真空環境一直是科學家和企業界追求的理想真空環境。自能夠創造真空環境開始，人們就試圖采用不同手段達到清潔真空的效果。時至，清潔真空獲得設備已經發展到冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、泵以及隔膜泵等多種產品。在現有的無油真空泵當中，無油真空泵與其他種類的無油真空泵相比具有運行平穩、噪音低、節省能源、重量輕、體積小的特點。
    無油真空泵的盤就是一個一端與一個平面相接的一個或幾個漸開線螺旋形成一個型盤狀結構。一個靜盤與一個動盤組成的一對盤付構成了無油真空的基本抽氣機構。例如在雙級無油真空泵中，有兩個方向對應的固定盤，一個位于兩個盤之間的轉動盤。動、靜盤相對運動形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環。眾所周知，無油真空泵與普通油真空泵相比具有顯著的特點。
    真空泵的主要優點是間隙曉、泄漏少，具有較高的壓縮比，在較寬的陋力范圍內有穩定的抽速，工作壓力范圍寬；由于壓縮腔容積的變化市連續的，因而驅動扭矩變化小，功率變化小，振動噪聲低，可靠性高。這是其它類型的干式真空泵所不具備的。